Azotek krzemu

azotek krzemu
Ogólne informacje
Wzór sumarycznySi3N4
Masa molowa140,28 g/mol
Wyglądszary bezwonny proszek
Identyfikacja
Numer CAS12033-89-5
PubChem3084099
Podobne związki
Podobne związkiditlenek krzemu, węglik krzemu
Jeżeli nie podano inaczej, dane dotyczą
stanu standardowego (25 °C, 1000 hPa)

Azotek krzemu (Si3N4) – nieorganiczny związek chemiczny, azotek pierwiastka krzemu na IV stopniu utlenienia.

Właściwości

Azotek krzemu ma stosunkowo niską gęstość, bardzo dużą odporność termiczną i chemiczną oraz twardość.

Zastosowania

Elektronika

Azotek krzemu jest wykorzystywany jako izolator i bariera chemiczna – przewyższa on w tym zastosowaniu SiO2. Stanowi dobrą barierę dla czynników, przed którymi nie chroni SiO2, na przykład jonów Na+ i H+ (mających szkodliwy wpływ na stabilność przyrządów półprzewodnikowych).

Najczęściej wytwarza się warstwę Si3N4 metodami chemicznymi: przez rozpylanie katodowe lub osadzanie z fazy lotnej. Do wad należą: trudności związane z obróbką fotochemiczną tych warstw i gorsze właściwości elektrofizyczne obszaru granicznego -Si niż SiO2.

Ceramika

Łożyska z ceramiki Si3N4 są stosowane w dyskach twardych.

Azotek krzemu jest składnikiem sialonu.

Przypisy

  1. Silicon nitride (nr 334103) – karta charakterystyki produktu Sigma-Aldrich (Merck KGaA) na obszar Polski.
  2. Department of Chemistry, The University of Akron: Silicon nitride (ang.). [dostęp 2012-03-02].

Bibliografia

  • Wiesław Marciniak, Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone, Warszawa: WNT, 1987, s. 71, ISBN 83-204-0925-X, OCLC 749876743.

Media użyte na tej stronie